Te tukanga hangahanga o te kiriata huritao anti

Te mahi hangarau
Homai nga rauemi tipu me nga puna hau: whakarato i nga rauemi tipu mo te kiriata whakaataata, penei i nga punaha hau e pa ana ki nga kohinga tipu, penei.
Te hanganga o te anti huritao anti anti: whakamahia te taua o nga rauemi tipu ki te hanga i te iti rawa o te kiriata whakaata anti anti i runga i te paparanga whakaata. Ka taea e te paparanga papa te whakauru atu ki te apa a te apio, ki te paparanga, me te apara whakauru ki te raupapa o te tipu o te kiriata. Ko te tango i te paparanga whakaata whakaata e rua-a-papa (paparanga whakaata tuatahi me te tuarua o te whakaaturanga whakaata anti-tuarua) hei tauira tupuranga epixial (penei i te tikanga whakahekenga o te whakahekenga o te whakakorekore. Ko nga mahi motuhake e whai ake nei:
Te tukatuka i te tukatuka: I muri i te horoi horoi semimonductor i runga i te papa papamuri, tuu te paparanga papanga i runga i nga taputapu whakahekenga CVD.
Tautuhinga Taapiri Tautuhinga: Whakahaere i te pāmahana hiko o runga o nga taputapu whakahekenga CVD ki te 200-300 tohu me te pāmahana hiko o raro ki te 250-350 tohu.
Te tipu o te paparanga whakaata tuatahi anti: whakatika i nga tohu whakahekenga tuatahi o nga taputapu whakahekenga CVD, me te tuatahi o te kohinga kiriata tuatahi. Tuhinga o mua 1.4-1.71.
Te tipu o te paparanga whakaata tuarua tuarua: Whakatikatika i nga tohu whakahekenga tuarua o nga taputapu whakahekenga o CVD, me te tuarua o nga taputapu whakaata a te CVD. 10-200NM me te whānuitanga o te toharite o te 1,4-1.71.

Nga Painga Hangarau
Ma te whakamahi i te taua o nga rauemi tipu, ka taea e te kiriata whakaata anti mo te kaupapa whakaata anti mo nga momo whakarite, me te whakanui i nga momo whakarite mo te mahi.

Te Hangahanga Hanga o te Hybrid Sio ₂ / Tio ₂ Anti huritao Whakaahuatanga

Te mahi hangarau
Te faaineineraa o te Trabturate: Whiriwhiria nga huringa maamaa penei i te karaihe, te karaihe hauora, me te mahi maimoatanga polyimide kia pai ai te mahi ma te puehu ma. Mena e tika ana, ka taea te mahi i te taha maui-taha-rua, te waahanga takirua ranei hei whakapai ake i te kaha whakawhiti marama.
Te whakarite mo te kiriata Precursor: Tetratedoxysilane (Teo) me teTrabutyl Titanate (TBT) ka taapirihia ki te ethanol kei roto i tetahi waahanga 9-12.
Paninga me te tiaki: Ko te punaha Gel Superge kua oti te pania i runga i te papaparepure marama, me te paninga paninga, te paraihe me etahi atu kaupapa ka taea te whakamahi. I muri i te paninga, te ranu sio ₂ / Tio ₂ Ko te Filborsor ko te rongoa mo te rongoa me te maimoatanga taapiri, te hanga i te hanganga papaa-maha.
Paninga porohita: Aukuhia te paninga paninga me te whakamahana tae noa ki te mea e hiahiatia ana te whakaaro huritao e hiahiatia ana. Nga waa e pa ana ki nga raupapa me nga raupapa ka pa ki te mahinga o nga kiriata whakaataata, me te rangahau me te arotautanga.
Maimoatanga Mata: Ki te whakapiki ake i te ahua o te kiriata huritao me te polymer haydrophobic me te hydrophobic hydrophobic e pa ana ki te mata o te kiriata whakaataata anti.

Te tukanga hangahanga o te kiriata huritao anti
Te mahi hangarau
Ko te kiriata whakaata whakaata anti-anti i runga i te silicon me te pani me te kiriata whakaata whakaata anti i nga taha e rua o te tihi. Ko te hanganga pūnaha kiriata o te kiriata whakaata anti anti he mea motuhake mo tetahi (h) Ko te paparanga SI e tata ana ki te tïpako, me te paparanga sio kei runga i te mata. Whakamahia ai te tukanga paninga hei whakapiri i te papa kiriata ki te tïpako, me te paparanga kiriata Shio hei paparanga o waho, he uaua te mata o te papa. I tua atu, ko te Shio he taupū ngoikore iti, ka taea te whakaiti i te whakaata o te mata, me te whakapiki ake i te whakawhiti i te whakama.

Ko te tukanga hangahanga o te tino whakaata-a-tinana
Te mahi hangarau
Ko nga rawa o mua ka rewa: wehe i te maimoatanga rewa i mua i te Yttrium Fluoride, te konupora yettium fluoride, me nga taonga kiriata zinsin selenide hei tango i nga poke i roto i nga rauemi kiriata.
Papa Kiriata Kiriata: Ko te paparanga tuatahi Yttrium Fluone, te paparanga o te papaa o te Yttrium Flleride, me te matotoru o te reanga. Ko te rohe kapinga o ia paparanga he neke atu i te 95% o te waahi mata o te paparanga. Ko nga whakaritenga matotoru tinana mo ia paparanga: Ko te matotoru tinana o te paparanga Yttrium tuatahi ko te 95-100 nanooments; Ko te matotoru o te tinana o te paparanga o te ahuru o te ahuru ko te 860-870 nanomters; Ko te matotoru o te tinana o te paparanga zincle e 240-250 nanometer; Ko te matotoru o te tinana o te papa tuarua o te Yttrium Fluorride ko 95-100 nanoometer.
 

Nga Painga Hangarau
Ko te membrane whakaata whakaata a Antimage Whakaata he hanganga ngawari me te hoahoa tino ataahua. Ko nga huinga e wha ko nga ahuatanga o te parenga o te kaha o te pāmahana, te paparanga teitei, te ahotea o te paparanga i waenga i nga papa o te membrane, me te kore e pakaru i nga papa membrane. Ka taea e te whakatutuki i nga mahi haere tonu o nga waahanga i raro i nga tikanga o te pāmahana, me nga taonga e whakamahia ana i ia paparanga he kore reo irirangi, e kore e pakaru i nga kaiwhakahaere me te taiao.